Dataran
Tinggi Dieng dan sekitarnya terletak pada zona pegunungan Serayu Utara. Sebelah
barat berbatasan dengan daerah Karangkobar dan sebelah timur berbatasan dengan
daerah Ungaran. Sejarah perkembangan geologinya akan bertalian dengan
daerah-daerah sekitarnya (daerah pada zona pegunungan Serayu Utara). Sejarah perkembangan
geologi Dataran Tinggi Dieng (pegunungan Serayu Utara pada umumnya) diawali
dengan siklus geologi berupa pengendapan sedimentasi dalam cekungan geosinklin.
Pada
zaman Tersier Tua (Paleogen) yaitu kala Eosen (58 juta tahun silam) dan
Oligosen (38 juta tahun silam) di Jawa terdapat suatu cekungan geosinklin yang
membentang dari arah barat-timur. Di bagian utara cekungan geosinklin ini
(sekarang pegunungan Serayu Utara) pada kala Oligosen dan Miosen Tua (26 juta
tahun) masih mengalami gerak menurun, tetapi sebaliknya